第138章 MOCVD

    奉天科仪，三楼大会议室

    “怎么样？小陈同学休息好了吗？”刘民学厂长关心的问道。

    “我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长，再加上休息不好。眯一会就好了。”

    “那就好。那就好。”科仪的几位科长，都长长舒了一口气。

    在参观的过程中，陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们，心都悬了起来。他们搞不清楚，陈泉的脸色差，是因为身体原因，还是单纯的不满。

    “希望这次意外，不会影响到对我们厂的评价。”

    刘厂长还是有些不放心。

    “没事，陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小，底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛，恢复得也快。不要介意。”

    “那好，让我重新介绍吧。”

    刘民学咳嗽了一声，吸引了所有人的注意。

    创建于1958年的奉天科仪，属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代，有过辉煌的历史。

    随着国门的打开，在进口产品的降维冲击下，奉天科仪的形式急转直下。

    随着价格双轨制的取消，这两年奉天各企业的经济形势普遍向好，所以奉天科仪也在积极转型，例如进军农业机械市场，但效果越来越差。

    ......

    “不知道，我们的这些介绍，是否足够详细？”刘民学厂长最后问。

    “不错, 不错。够了, 够了。”

    王湛已经在奉天两天了，对科仪的印像很是不错。

    除了厂家本身的实力, 也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远，沟通不方便。不说时间上的浪费，长途火车票也是紧俏物资的一种，不是想买就能买到的。

    “在MOCVD领域, 你们有什么积累吗？”

    陈泉突然问到。奉天科仪的介绍, 始终围绕着PVD（物理气相沉积）类产品进行。

    “MOCVD？”

    刘民学有点意外，然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域，他并不熟悉。

    “据我所知，MOCVD（金属有机化学气相沉积）技术并不成熟, 市面上好像还没有类似的产品吧。”

    王青山有点不太确定。

    MOCVD是从VPE(气相外延生长)基础上发展起来的新技术。

    在MOCVD技术中, 反应气体在高温下结合，形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应，形成材料和化合物半导体的外延。

    不同于传统的硅半导体, 这些半导体可以包含的组合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。

    MOCVD相关理论提出得很早，但真正走入实际验证，不过是近几年的事情。有一些厂家，自行改造定制MOCVD，但相关技术和产品, 远远没有成熟到可以商用的程度。

    “你想在MEMS中, 弃用PVD，转用MOCVD设备？”王湛听到消息, 也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗？MEMS工艺要做大的修改吗？”

    “嗯, 怎么说呢......”

    陈泉陷入了沉思。

    蓝光LED之所以在红光，绿光LED面世二十年之后, 还不能量产, 就是因为遇到难以克服的困难。

    在蓝光LED领域, 人类的最早研究, 走的是GaN（氮化嫁）路线。但GaN的合成太困难。

    另外，科研人员还发现, GaN除了具有很高的缺陷(位错)密度（按照传统半导体物理的认识，GaN 这么高的位错密度不可能发强光外）, 因此，大多数人都转向了其他技术方向。

    目前市场上，有些低亮度的蓝光LED商品售卖，其走的是SiC（碳化硅）路线。但这条路线，从原理上，发光效率就不高。

    因此大量的研究人员，又转向了ZnSe（硒化锌）材料。ZnSe材料，无论是理论，还是实际发光效率, 都取得了很大进展，但这条路线始终面对一个令人头疼的问题, 那就是产品寿命。

    蓝光LED的几条技术路线，每条都有自己不同的困难，全都被卡住了。

    而‘他’就是通过定制MOCVD的方式, 另辟蹊径，解决了GaN的制备问题。

    ......

    “我和陈泉想定制两台MOCVD设备，做些预研。这部分研究工作, 不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋，干脆把话接了过去。

    “不影响到MEMS建厂，那就没有问题了。”

    王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去，他的工作也很难做。

    “而且我希望，这个定制设备的制造工作，就交给奉天科仪。”

    陈泉补充。

    MOCVD只是解决了GaN的制备问题，后续的一系列技术难点，以及解决方法，必须要设备到位后，才能去探索，他不想节外生枝。

    “哦？好！当然好！我们热烈欢迎。”

    奉天科仪的几个人，先是一愣, 然后就是大喜。

    “可MOCVD，我们并没有相关的生产经验啊。”技术科的王青山很快反应过来。

    “没有经验, 我们就不能生产了吗？”

    刘民学赶紧接过话头。“我们厂的产品, 哪个不是从零开始？包括我们的农用机械, 不也是自行研发出来的吗？”

    “可MOCVD不同。”

    王青山不肯放弃。“国内关于MOCVD的资料特别少。据我所知, 国外很多公司，都是购买现成的VPE设备进行改装。但VPE类设备对我们禁运，我们就是想买都买不到。”

    “.......”

    众人把目光，又重新投向了陈泉。

    “要不，MOCVD的事情，先放一放？条件不成熟的东西，没有必要强求。毕竟国内的条件就这样。国外设备厂商很容易做到的事情，放到国内，就未必了。”

    王湛打圆场。“让我们还是回到MEMS设备选型的问题上。”

    “对，对。我们先讨论生产线的事情。”刘民学厂长使劲瞪了一眼自己的技术科长，又把期待的目光，以及满脸的笑容，重新带回会议桌。

    .......

    “....从技术参数和指标上看，贵厂的产品，基本符合了我们的预期。但我要再次强调，我们的产品是要被应用到航天和航空领域的。因此，参数指标不是第一位的，质量和稳定性，才是最重要的。”

    经过了漫长的讨论，王湛终于下了结束语。

    “关于质量，请领导放心，绝对不会出问题的，毕竟我们也是有多年历史的老厂了。”

    刘民学大拍胸脯。

    会议室里的气氛，很快就融洽了起来。

    ......

    “食堂那边还没有准备好。”刘秘书回来报告。

    刘民学问：“我们先休息会？还是到车间再去转转？你们再帮我们提提建议？”

    “你看呢？”王湛转身征求陈泉的意见。

    刚才的设备参数讨论，陈泉很少说话，反而曲燕秋的态度非常积极，一直在不停地问东问西。

    陈泉没有回答问题，而是把目光转向了技术科科长，王青山。“能不能借我一套绘图板？”

    “绘图板？你要绘图板做什么？”

    王湛诧异了。“.....你难道要自行设计MOCVD设备吗？”

    虽然王湛与陈泉有过几次接触，但两人还远远谈不上熟悉。对于陈泉的固执己见， 王湛有了点意见。

    设计一台全新设备，哪是那么容易的事情。

    不过他不好多说什么，尤其在外人面前。

    “试试看吧。”

    陈泉没有把话说死。虽然有“他”的记忆打底，但陈泉连图板的边都没有摸过。

    但现在绝对不是放弃的时候。这次的机会，可以说稍纵即逝。再次回到奉天科仪，不一定是什么时候的事情了。

    如果无法如愿，带走记忆中的那台MOCVD，蓝光LED彻底没有了希望。

    “那....?”

    刘民学用目光征询意见，发现陈泉并没有放弃的意思，王湛也不说话，他只得吩咐。“小刘，找人抬一副图板过来吧。”

    “抬我那副吧。”

    王青山站起来，跟了出去。“我那副是磁铁绘图板，条件好一些。”

    .......

    很快的，一副设计人员常用的零号工程绘图板，被四个人抬进了大会议室。

    “这是活动丁字尺，只要这么一拉，它就能在导轨上......”王青山给陈泉介绍他的宝贝。

    “你们工大的电子系学生，也要学机械制图吗？”

    王湛在后面，小声的问曲燕秋。

    “电子系的学生没有制图课。但陈泉，你是知道的。他总是能做出些出人意料的事情，不是吗？”曲燕秋只能如此回答。

    “要不你把想法说出来，我来画图....”

    王青山看着陈泉，满脸好奇的摆弄着图板上的各种配件，一看就是没有接触过机械设计的全新选手。

    可就在所有人的惊讶目光里，陈泉趴到了图板上。


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